據(jù)報道,2016年7月4日,英國牛津儀器公司利用其納米實驗室納米級生長系統(tǒng)正式啟動了二維二硫化鉬生長工藝研究。
二維硫化鉬(單層二硫化鉬)是一種直接帶隙半導(dǎo)體材料,在光電領(lǐng)域具有廣泛的應(yīng)用,如發(fā)光二級光、光伏電池、光探測器、生物傳感器等
牛津儀器公司對化學(xué)氣相淀積工藝進(jìn)行了優(yōu)化,開發(fā)了納米實驗室系統(tǒng),這一系統(tǒng)能夠處理廣泛領(lǐng)域的液態(tài)/固態(tài)/金屬-有機材料,十分適用于二維材料生長。該系統(tǒng)能夠提供在藍(lán)寶石、原子層淀積鋁(氧化鋁和氧化硅)等各種襯底上生長的能力,也能夠淀積硫化鎢、二硫化鉬等二維過渡金屬硫化物。拉曼分析表明了單層材料的高品質(zhì),原子力顯微鏡表明了薄膜的平滑和一致性。該公司期待二維材料生長工藝的開發(fā),將推動下一代納米電子器件的開發(fā)。
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